技術(shù)：氣動隔膜

特性：

專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計

非金屬，流體通道內(nèi)無O型圈

滲流設(shè)計

無金屬固定件，如拉桿或支架

有集成脈動均衡器可選

100級凈室內(nèi)組裝

技術(shù)數(shù)據(jù)：

機(jī)加工的塑料設(shè)計，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）兩種材質(zhì)

優(yōu)化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技術(shù)

五種尺寸：從10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）

NPT接口

最高耐受溫度：200° C（390°F）

精確的流體輸送

性能數(shù)據(jù)：

最大流量：200lpm（52gpm）

最大吸程：干吸4m（13.1'），濕吸9m（29.5'）